特許
J-GLOBAL ID：200903086090127842

圧子先端検査装置及び圧子先端検査方法

発明者：
澤 健司

澤 健司 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252653
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071352
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】より簡易に、微小な磨耗、損傷を検出することができる圧子先端検査装置及び圧子先端検査方法を提供する。【解決手段】圧子先端検査装置100において、圧子Aを略鉛直方向に上下移動させる圧子移動部10と、上面が開口し、内部に粘性流体31を貯留する貯留部30と、前記貯留部30の重量を測定する重量測定部40と、を備え、CPU51は、前記圧子移動部10を鉛直下方向に移動させて、当該圧子Aの先端部aを前記貯留部30が有する粘性流体31に押し込み、次いで、前記圧子移動部10を鉛直上方向に移動させて、当該圧子Aの先端部aを前記貯留部30が有する粘性流体31から引き上げるように構成した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧子を略鉛直方向に上下移動させる圧子移動部と、 上面が開口し、内部に粘性流体を貯留する貯留部と、 前記貯留部の重量を測定する重量測定部と、 前記圧子移動部を鉛直下方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体に押し込み、次いで、前記圧子移動部を鉛直上方向に移動させて、当該圧子の先端部を前記貯留部が有する粘性流体から引き上げる移動制御を行う移動制御部と、 を備えることを特徴とする圧子先端検査装置。
IPC (1件)：
G01N 3/42
FI (1件)：
G01N3/42 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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