特許

J-GLOBAL ID：200903099136951337

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 原田 耕一 ,  上田 康弘 ,  梅津 暢彦 ,  和田 和司 ,  東宮 祥哲 ,  松田 健
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241706
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068658
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 紫外線に対して充分な感度を有すると共に、各種の特性が良好な固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 センサ部11上のオンチップレンズを含む層19,20,21が紫外線を透過する無機膜で形成された固体撮像装置1を構成する。また、平坦化膜となる第1の無機膜を形成しエッチバック又は化学的機械的研磨法により平坦化膜20を形成する工程と、平坦化膜20上に第2の無機膜を形成する工程と、第2の無機膜上にレンズ形状のレジスト層を形成しエッチバックして第2の無機膜によるオンチップレンズ21を形成する工程とを有して固体撮像装置1を製造する。

請求項（抜粋）：

センサ部上のオンチップレンズを含む層が紫外線を透過する無機膜で形成されて成ることを特徴とする固体撮像装置。

FI (2件)：

H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D

Fターム (14件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA34 ,  4M118CA40 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118DA03 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GD04

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 固体撮像装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-326649   出願人：松下電子工業株式会社
• 特開平4-349664
  
• 特開平4-346472
  
• 撮像素子、撮像素子の製造方法および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-237320   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-349664
  
• 特開平4-346472