特許
J-GLOBAL ID：200903099156880703

試料ホルダ、試料ホルダ搬送部材および試料ホルダ受渡し方法

発明者：
所 裕一郎

所 裕一郎 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-049223
公開番号（公開出願番号）：特開2001-236912
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 試料ホルダ搬送部材をその搬送方向に沿う軸回りに回転させることなく、試料ホルダと着脱できるようにすること。【解決手段】 後面側ホルダ保持部材H2および前面側ホルダ保持部材STのうちの一方のホルダ保持部材H2に試料ホルダH1のホルダ下部H1aを保持した状態で前記試料ホルダH1を保持していない他方のホルダ保持部材STに接近させたとき、一方のホルダ保持部材H2のホルダ保持アーム16,16の内側に他方のホルダ保持部材STのホルダ保持アーム24,24が進入して前記一方のホルダ保持部材H2のホルダ保持アーム16,16は前記他方のホルダ保持アーム24,24の外側に移動し、他方のホルダ保持部材STが前記試料ホルダH1を保持する状態となる。
請求項（抜粋）：
下記の構成要件(A01)〜(A05)を備えたことを特徴とする試料ホルダ、(A01)試料ホルダ搬送部材に保持されるときに試料ホルダ搬送部材に対向する側面であるホルダ後面および試料ステージに装着されるときに試料ステージに対向する側面であって前記ホルダ後面と反対側のホルダ前面と、前記ホルダ後面およびホルダ前面を接続する左右一対のホルダ側面と、前記左右のホルダ側面の上端から左右に突出する被支持部とを有する試料ホルダ、(A02)前記ホルダ後面の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ前面側から接近した前面側ホルダ保持アームの後端部のアーム後端挟持部によって挟持されるとともにホルダ後面側から接近した一対の後面側ホルダ保持アームの前端部のアーム前端挟持部が接触する後側被挟持部、(A03)前記ホルダ前面の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ後面側から接近した後面側ホルダ保持アームの前端部のアーム前端挟持部によって挟持されるとともにホルダ前面側から接近した一対の前面側ホルダ保持アームの後端部のアーム後端挟持部が接触する前側被挟持部、(A04)前記前面側ホルダ保持アームのアーム後端挟持部により挟持された後側被挟持部に接近した前記後面側ホルダ保持アームのアーム前端挟持部を前記アーム後端挟持部の内側にガイドするように形成された前記ホルダ後面、(A05)前記後面側ホルダ保持アームのアーム前端挟持部により挟持された前側被挟持部に接近した前記前面側ホルダ保持アームのアーム後端挟持部を前記アーム前端挟持部の内側にガイドするように形成された前記ホルダ前面。
IPC (5件)：
H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  B65G 49/05 ,  G01N 23/225
FI (5件)：
H01J 37/20 B ,  G01N 1/00 101 C ,  B65G 49/05 ,  G01N 23/225 ,  G01N 1/28 W
Fターム (14件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001JA12 ,  2G001KA01 ,  2G001PA01 ,  2G001PA06 ,  2G001PA16 ,  2G001QA01 ,  2G001QA02 ,  5C001AA01 ,  5C001AA02 ,  5C001CC01 ,  5C001CC04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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