特許
J-GLOBAL ID：200903099159978283

インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置

発明者：
山中 邦裕

山中 邦裕 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-011366
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 接合信頼性が低い。【解決手段】 流路基板1と電極基板2とをポリシリコン層25を介して接合した。
請求項（抜粋）：
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室内の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを有し、前記振動板を静電力で変形させて前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、少なくとも前記吐出室及び振動板を形成し、前記振動板の電極と対向する面に保護絶縁膜を有する第一の基板と、前記電極及び前記振動板と電極との間のギャップを形成する彫り込み部が形成され、少なくとも第一の基板との接合面の一部にポリシリコン層が形成されている第二の基板とが接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (14件)：
2C057AF66 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP22 ,  2C057AP27 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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