特許

J-GLOBAL ID：200903099160279704

検査方法及び検査装置

発明者： 飯野 伸治 ,  竹腰 清 ,  須賀 唯知 ,  伊藤 寿浩 ,  片岡 憲一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  須賀 唯知 ,  伊藤 寿浩
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-093303
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139542
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 スクラブ操作によりプローブNと検査用電極Pを電気的に接触させると、スクラブによりプローブNの寿命を縮めたり、図7の(b)に示すように検査用電極Pを傷つけてデバイスの歩留りを低下させる。【解決手段】 本発明の検査方法は、検査用電極Pに検査用プローブ12Aを電気的に接触させてデバイスの電気的特性検査を行う検査方法において、フリッティング現象を利用して検査用電極Pの絶縁被膜Oを破って検査用プローブ12Aと検査用電極Pを電気的に接触させるコンタクト工程を有する。

請求項（抜粋）：

検査用電極にプローブを電気的に接触させて被検査体の電気的特性検査を行う検査方法において、フリッティング現象を利用して上記検査用電極の絶縁被膜を破って上記プローブと上記検査用電極を電気的に接触させるコンタクト工程を有することを特徴とする検査方法。

IPC (4件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (16件)：

2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  2G011AA17 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電子部品の検査方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-060582   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平3-229163
  
• プローブカード、及びこれを備えたテスト装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-336682   出願人：三菱電機株式会社