特許
J-GLOBAL ID：200903099201578320
サンドブラストによる切削方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320591
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138441
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 PDPに使用する背面板の障壁をサンドブラスト法により作製する際に、障壁の加工ムラが殆ど無視ないし発生しない方法を提供する。【解決手段】 1個のノズルを、あるいは複数のノズルを一体として、所定方向に所定幅Lで所定の速度Vnで繰り返し往復移動させながら基板をノズルの移動方向と略直交する方向に所定の速度Vgにて移動させた状態で、且つ、マスクを介して高圧空気により研磨砂をノズルから吹き付けて、基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト方法であって、各ノズルNiは、基板とノズルとの相対速度をゼロとしてマスクを用いずに切削した切削時間をt、そのときの切削深さの最大値をhi(t)、深さhi(t)/2における切削幅である半値幅をwi(t)とした場合、wi(t)がほぼ一定値Wiを示す切削能力を有する状態で、基板端部でのノズルの基板の移動方向へのピッチ送り幅dとすると、dを全てのノズルの前記半値幅の1/2以下としており、且つ、ノズルを複数個同時に用いる場合には、各ノズルが相互に干渉しないようにしている。
請求項（抜粋）：
1個のノズルを、あるいは複数のノズルを一体として、所定方向に所定幅Lで所定の速度Vnで繰り返し往復移動させながら基板をノズルの移動方向と略直交する方向に所定の速度Vgにて移動させた状態で、且つ、マスクを介して高圧空気により研磨砂をノズルから吹き付けて、基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト方法であって、各ノズルNiは、基板とノズルとの相対速度をゼロとしてマスクを用いずに切削した切削時間をt、そのときの切削深さの最大値をhi(t)、深さhi(t)/2における切削幅である半値幅をwi(t)とした場合、wi(t)がほぼ一定値Wiを示す切削能力を有する状態で、基板の端部でのノズルの基板の移動方向へのピッチ送り幅dとすると、dを全てのノズルの前記半値幅の1/2以下としており、且つ、ノズルを複数個同時に用いる場合には、各ノズルが相互に干渉しないようにしたことを特徴とするサンドブラストによる切削方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24C 1/04 F
, H01J 9/02 F
