特許
J-GLOBAL ID：200903099241518045

素子用薄膜層の蒸着方法、蒸着装置および有機エレクトロルミネッセンス素子

発明者：
東海林 弘

東海林 弘 について

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福岡 賢一

福岡 賢一 について

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長崎 義和

長崎 義和 について


出願人/特許権者：
出光興産株式会社

出光興産株式会社 について


代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-160328
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：
【要約】【課題】 有機材料を、大面積の基板に連続的かつ再現性よく、均一に積層できる素子用薄膜層の蒸着方法、蒸着装置、および電荷注入層の膜面内における電子輸送性有機物と電子注入性材料との組成比の均一化を実現できる有機EL素子を提供する。【解決手段】 蒸着源2A〜2Fとして、蒸着材料を収納したるつぼ21と、このるつぼ21の外側に均熱部材22を介して配設されたヒータ23と、このヒータ23の外側に配設された熱反射部材24A,24Bとを含むセル型蒸着源を用い、かつ、蒸着源の開口部を内部に冷媒を循環させたベースプレート5(シュラウド)によって冷却しながら、蒸着を行う。
請求項（抜粋）：
基板に対向して配置した1または複数の蒸着源から蒸着材料を蒸発させて成膜を行う素子用薄膜層の蒸着方法であって、前記蒸着源として、蒸着材料を収納した容器と、この容器の外側に配設されたヒータと、このヒータの外側に配設された断熱層とを含む蒸着源を用いて、蒸着を行うことを特徴とする素子用薄膜層の蒸着方法。
IPC (5件)：
C23C 14/26 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22
FI (5件)：
C23C 14/26 A ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 A
Fターム (27件)：
3K007AB00 ,  3K007AB03 ,  3K007AB04 ,  3K007AB06 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007BB01 ,  3K007CA01 ,  3K007CA02 ,  3K007CA05 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029AA09 ,  4K029BA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029DB24 ,  4K029JA03
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (12件)
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