真空蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022484
公開番号（公開出願番号）：特開平9-209126
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】純度の高い有機物の薄膜を確実に製造できる真空蒸着装置を提供すること。【解決手段】蒸着源20のるつぼ23の開口縁近傍に、基板12方向に突出した障壁30を着脱可能に設け、障壁30の外面にはフィン33による凹凸32を形成し、障壁本体31には障壁30を水冷する冷却パイプを内蔵させて真空蒸着装置10を形成する。これにより、蒸着初期に蒸着源20周辺に付着した不純物が温められて再蒸発しても冷却された障壁30で捕捉でき、捕捉後は再蒸発することがないので、薄膜への不純物の混入を防止でき、純度の高い有機物の薄膜を確実に成膜できる。

請求項（抜粋）：

有機物を容器に入れて加熱する蒸着源と前記有機物を蒸着させる基板とを備えた真空蒸着装置であって、前記蒸着源の容器の開口端近傍には障壁が設けられていることを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , H01L 21/203 , H01L 21/285

FI (3件)：

C23C 14/24 A , H01L 21/203 Z , H01L 21/285 P

引用特許：

審査官引用 (9件)

有機化合物用蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-089056 出願人：日本真空技術株式会社
蒸着重合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253087 出願人：日本真空技術株式会社
蒸着重合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-321361 出願人：日本真空技術株式会社

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