特許

J-GLOBAL ID：200903099254548458

静電チャックおよびその製造方法

発明者： 内山 一郎 ,  寺尾 公一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288914
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100919
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 反りが小さく内部電極とセラミックス本体との密着力が向上したセラミックス製の静電チャックを提供する。【解決手段】 静電チャック10は、窒化アルミニウム焼結体からなる板状体1と、板状体1の内部に設けられた電極2とを備える。電極2は、タングステンまたはモリブデンのマトリックス中に窒化アルミニウム粒子ならびにCaOおよびY2 O3 の焼結助剤粒子が分散された組織を有する導電性複合材料からなる。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる板状体と、前記板状体の内部に設けられた電極とを備える静電チャックにおいて、前記電極が、タングステンおよびモリブデンからなる群より選択される少なくとも1つからなるマトリックス中にセラミックス粒子が分散された組織を有する導電性複合材料からなることを特徴とする、静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00 ,  B23Q 3/15

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  B23Q 3/15 D

Fターム (4件)：

3C016GA10 ,  5F031HA17 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-043870   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭62-264638
  
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-224128   出願人：京セラ株式会社
• ウエハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-079219   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭62-264638