特許
J-GLOBAL ID：200903099265605810

カラーフィルタを備えた液晶表示パネル用基板の製造方法

発明者：
岡本 守

岡本 守 について

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坂本 道昭

坂本 道昭 について

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山本 勇司

山本 勇司 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325773
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142064
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 画素電極の接触不良を抑制し、製造歩留りを向上させることができるカラーフィルタを備えた液晶表示パネル用基板の製造方法を提供する。【解決手段】 第1の基板1に薄膜トランジスタを形成し、第1の基板1上に薄膜トランジスタを覆うようにしてネガ型レジスト膜を形成し、ネガ型レジスト膜の薄膜トランジスタのソース電極6に整合する位置に及びカラーフィルタ形成予定領域に開口部を有する形状のパターンを露光して現像することにより、第1の開口部11aを形成し、カラーフィルタの形成予定領域に第2の開口部11bを形成する。これにより、半導体層5に整合する位置にブラックマトリクス9が形成され、第1の基板1の周辺部に額縁マトリクス10が形成される。次に、第2の開口部11b内に各色のインクを吐出する。
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜トランジスタを形成する工程と、前記薄膜トランジスタのソース電極に整合する位置に形成された第1の開口部及びカラーフィルタが設けられる位置に形成された第2の開口部を有するブラックマトリクスを前記基板上に形成する工程と、前記第2の開口部内にカラーフィルタを形成する工程と、前記基板上に前記ブラックマトリクス及び前記カラーフィルタを覆うようにして保護膜を形成する工程と、前記ソース電極上の保護膜を除去して前記ソース電極を露出させる工程と、前記第1の開口部内に前記ソース電極に接続する画素電極を形成する工程とを有することを特徴とするカラーフィルタを備えた液晶表示パネル用基板の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1365
FI (3件)：
G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/136 500
Fターム (27件)：
2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA57 ,  2H048BB02 ,  2H048BB14 ,  2H048BB43 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA34Y ,  2H091FC26 ,  2H091FC27 ,  2H091GA08 ,  2H091GA13 ,  2H091LA12 ,  2H092GA29 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092KB24 ,  2H092MA13 ,  2H092MA29 ,  2H092NA29 ,  2H092PA03 ,  2H092PA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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