表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-053058
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333313
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】面板表面の凹部欠陥あるいは凸部欠陥の大きさを精度よく検出することができる表面欠陥検査装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、n個の受光素子により形成される受光領域の配列方向での中央をピークとしてその両側に向かって受光量が実質的に対称的に漸次減少する特性で面板の走査位置の映像を受光領域に結像するので面板の表面に欠陥がなければ受光素子の配列の中央を基準としてこれの両側の実質的に対称の位置にある受光素子の受光信号のレベルは、実質的に等しく、大きな差は生じないが、面板表面の走査位置に凹部欠陥あるいは凸部欠陥があると受光領域の結像が凹部欠陥あるいは凸部欠陥の側面傾斜部からの反射光により受光素子の配列方向においてその中央からいずれか一方にシフトするので対称の位置にある受光素子の受光信号のレベルが差が大きくなる。この差が所定値以上あることをもって欠陥を検出するものである。

請求項（抜粋）：

面板の表面を光ビームにより走査し、前記光ビームによる前記表面からの反射光を受光器により受光してその受光信号に基づいて欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、主走査方向に対して直角な方向に幅のある前記光ビームを前記面板の表面に照射して前記面板を相対的に走査する投光系と、配列されたn個(ただしnは2以上の整数)の受光素子を有する前記受光器と、前記n個の受光素子により形成される受光領域の配列方向での中央をピークとして配列方向の両側に向かって受光量が実質的に対称的に漸次減少する特性で前記面板の走査位置の映像を前記受光領域に結像させる光学系と、前記n個の受光素子のすくなくとも1つが前記受光領域の中央を基準として実質的に対称となる位置にそれぞれ配置されていて、この対称の位置にあるそれぞれの受光素子から受光信号を得てそのうちの一方の前記受光信号のレベルと他方の前記受光信号のレベルとの差を欠陥検出信号として前記欠陥を検出する欠陥検出装置とを備え、前記主走査方向の走査に応じて前記受光器が凹部欠陥あるいは凸部欠陥から前記反射光を受けたときに前記結像が前記配列方向に移動することを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G01N 21/95 , G11B 5/84

FI (3件)：

G01B 11/30 A , G01N 21/95 A , G11B 5/84 C

Fターム (57件)：

2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB03 , 2F065BB16 , 2F065CC03 , 2F065CC31 , 2F065FF44 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH17 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL04 , 2F065LL05 , 2F065LL08 , 2F065LL09 , 2F065LL30 , 2F065LL35 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065QQ29 , 2F065QQ33 , 2F065QQ37 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F065SS03 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2G051AA61 , 2G051AB07 , 2G051BA10 , 2G051BC07 , 2G051CA03 , 2G051CD05 , 2G051DA08 , 2G051EA03 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EC01 , 5D112JJ03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-298034
ハードディスクの欠陥検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-066995 出願人：グローリー工業株式会社
磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-132861 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

全件表示

前のページに戻る