特許
J-GLOBAL ID：200903099370008703

流量測定装置及び方法

発明者：
山田 幸生

山田 幸生 について

, 
角田 直人

角田 直人 について

, 
久保田 壮一

久保田 壮一 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 電気通信大学

国立大学法人 電気通信大学 について

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東京計装株式会社

東京計装株式会社 について


代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-362207
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163378
出願日： 2005年12月15日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】微量流量を高い精度で測定する。【解決手段】流量測定管路2の熱マーカ形成位置P1において流体FLに加熱用レーザ光L0を照射して熱マーカを形成し、当該熱マーカが測定光検出位置P2に移動して来たことを測定光処理部12によって流体の吸光度スペクトルK1に基づいて検出して熱マーカの変化に応じて流量値を読み取るようにしたことにより、流量測定管路2を流れる流体FLの微量流量を高い精度で測定することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流量測定管路を流れる流体の流量を測定する流量測定装置であって、 上記流量測定管路の熱マーカ形成位置において上記流量測定管路の外部から加熱用レーザ光を照射することにより、上記流量測定管路内を流れる上記流体を加熱して熱マーカを形成する熱マーカ形成部と、 上記流量測定管路の下流側の測定光検出位置において所定波長のレーザ光でなる測定光を上記流体に透過させて上記流体の吸光度スペクトルに基づく吸光度差を表す測定光検出信号を得る測定光処理部と、 上記熱マーカ形成部の上流側又は下流側の参照光検出位置において上記所定波長のレーザ光でなる参照光を上記流体に透過させて上記流体の吸光度スペクトルに基づく吸光度差を表す参照光検出信号を得る参照光処理部と、 上記熱マーカ形成部に対して上記熱マーカを形成させる駆動信号を与えると共に、上記参照光検出信号によって補正された上記測定光検出信号によって、当該熱マーカ形成時点から、上記測定光処理部において上記熱マーカが移動して来たことを検出した時点までの到達時間を判別して当該到達時間に対応する流量値を校正曲線から読み取るシステム制御ユニットと を具えることを特徴とする流量測定装置。
IPC (2件)：
G01F 1/708 ,  G01P 5/18
FI (3件)：
G01F1/708 ,  G01P5/18 B ,  G01P5/18 F
Fターム (2件)：
2F035FA08 ,  2F035FB01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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