特許

J-GLOBAL ID：200903099412696290

薬液供給装置

発明者： 中嶋 和司 ,  永田 明 ,  足立 大介 ,  片桐 隆聡
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-301537
公開番号（公開出願番号）：特開2004-140066
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】薬液の安定供給を可能としながら、その初期コスト及び維持管理コストを低減し得る薬液供給装置を提供する。【解決手段】圧送用ガス配管6a,6b,6cから加圧容器2a,2bへの圧送用ガスの供給に先立って、予備加圧用ガス配管8a,8b,8cから圧送用ガスを加圧容器2a,2bに供給し、予備加圧後に圧送用ガス配管6a,6b,6cから圧送用ガスを加圧容器2a,2bに供給して薬液を圧送し、ガス流量計3の計測値に基づいて薬液を圧送する加圧容器2a,2bを切り替える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

薬液を貯留可能とした複数の加圧容器と、 前記各加圧容器に圧送用ガスをそれぞれ供給する圧送用ガス配管と、 前記加圧容器から前記圧送用ガスに基づいて押し出される薬液を供給先に移送する薬液移送配管と、 前記圧送用ガス配管に介在される自動開閉弁と、 前記薬液移送配管に介在される自動開閉弁と、 前記加圧容器を予備加圧するための圧送用ガスを該加圧容器に供給する予備加圧用ガス配管と、 前記圧送用ガス配管に流れる圧送用ガスの流量を計測するガス流量計と、 前記自動開閉弁の動作を制御して、前記供給先に薬液を供給する加圧容器を切り替える制御部とを有し、 前記制御部は、前記圧送用ガス配管から加圧容器への圧送用ガスの供給に先立って、前記予備加圧用ガス配管から圧送用ガスを前記加圧容器に供給し、予備加圧後に前記圧送用ガス配管から圧送用ガスを加圧容器に供給し、前記ガス流量計の検出値に基づいて前記圧送用ガスを供給する加圧容器を切り替えることを特徴とする薬液供給装置。

IPC (4件)：

H01L21/304 ,  B01J4/00 ,  B08B3/04 ,  G02F1/13

FI (4件)：

H01L21/304 648K ,  B01J4/00 103 ,  B08B3/04 Z ,  G02F1/13 101

Fターム (16件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  3B201AA01 ,  3B201BB01 ,  3B201BB92 ,  4G068AA02 ,  4G068AB15 ,  4G068AC05 ,  4G068AD40 ,  4G068AD49 ,  4G068AD50 ,  4G068AE01 ,  4G068AF07 ,  4G068AF36 ,  4G068AF37

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 安全検出型薬液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-204273   出願人：関東化学株式会社, 日曹エンジニアリング株式会社
• 処理液供給方法及び処理液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-260870   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社