特許
J-GLOBAL ID：200903099666912103

シロキサン耐久試験機

発明者：
田中 秀樹

田中 秀樹 について


出願人/特許権者：
エスペック株式会社

エスペック株式会社 について


代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-064694
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224485
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】シロキサンに起因する電気接点部の接触不良が起こりにくい接点構造及び材料の開発を容易にする。【解決手段】シロキサン耐久試験機1は、シロキサンガス発生装置10と、テスト室20と、シロキサン濃度計測部30と、制御部40とを有している。シロキサンガス発生装置10は、2つのマスフローコントローラ12、13と、バブラー11とを含んでいる。シロキサン濃度計測部30は、テスト室20のテストエリア内のシロキサン濃度を計測する。制御部40は、その計測結果を用いて、シロキサンガス発生装置10のマスフローコントローラ12、13を制御する。これにより、テストエリアのシロキサン濃度を所望濃度とすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
濃度可変にシロキサンガスを発生させるシロキサンガス発生装置と、 前記シロキサンガス発生装置で発生したシロキサンガスが供給される、密閉されたテストエリアと、 前記テストエリア内のシロキサン濃度を測定するシロキサン濃度センサと、 前記シロキサン濃度センサが検出したシロキサン濃度に基づいて、前記テストエリア内のシロキサン濃度が所定濃度となるように前記シロキサンガス発生装置を制御する制御手段とを備えていることを特徴とするシロキサン耐久試験機。
IPC (1件)：
G01N 17/00
FI (1件)：
G01N17/00
Fターム (9件)：
2G050AA01 ,  2G050BA04 ,  2G050CA02 ,  2G050EA01 ,  2G050EA02 ,  2G050EA05 ,  2G050EA06 ,  2G050EC01 ,  2G050EC03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM