表面形状認識用センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187227
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018908
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】指紋のような微小な凹凸を精度よく検出できるようにする。【解決手段】下部電極104の周囲を囲うように、下部電極104および支持部材103とは離間して、絶縁層102上に参照電極104aを配置する。そして、上部電極105および下部電極104の間の容量Cfと、上部電極105および参照電極104aの間の容量Crとの差を、センサ回路110により検出する。

請求項（抜粋）：

基板上の同一平面上にそれぞれが絶縁分離されて複数配置された複数の下部電極と、前記下部電極上に離間して対向配置された上部電極と、前記基板上に前記下部電極毎に前記下部電極とは離間して配置されて前記上部電極を支持する支持部材と、前記下部電極と前記支持部材との間に前記下部電極毎に前記基板上に前記下部電極および前記支持部材とは離間して前記下部電極毎に配置された参照電極と、前記上部電極と前記下部電極との間の第1の容量と前記上部電極と前記参照電極との間の第2の容量との差を検出するセンサ回路とを備え、前記上部電極は、前記下部電極それぞれの上で前記支持部材を支点に、前記下部電極方向に変形可能に形成されていることを特徴とする表面形状認識用センサ。

IPC (3件)：

G01B 7/28 , A61B 5/117 , G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 7/28 Z , A61B 5/10 322 , G06F 15/64 G

Fターム (17件)：

2F063AA43 , 2F063BA29 , 2F063BB08 , 2F063BC03 , 2F063BD05 , 2F063BD11 , 2F063CA09 , 2F063DA01 , 2F063DA02 , 2F063DA04 , 2F063DB05 , 2F063DC08 , 2F063DD06 , 2F063HA01 , 4C038FF01 , 4C038FG00 , 5B047AA25

引用特許：

審査官引用 (6件)

モノリシック指紋センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-295757 出願人：フランス・テレコム
圧力センサアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-169148 出願人：株式会社島津製作所
容量性触覚センサアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-267355 出願人：ゼロックスコーポレイション

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