特許

J-GLOBAL ID：200903099698250641

表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体

発明者： 山本 貴靖
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217439
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041736
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 試料全面に渡って急激な形状変化、特にエッジ部分の形状変化を、容易に検査できる。【解決手段】 入力された試料全面の表面形状データに基づいて試料の半径方向の断面形状を所定角度毎に得て、検査領域の形状変化を検査領域に近接する近傍領域の表面形状データに基づいて各断面形状毎に求める解析する。

請求項（抜粋）：

試料全面の表面形状データを入力する形状データ入力手段と、入力されたデータに基づいて試料の半径方向の断面形状を所定角度毎に得る断面形状算出手段と、検査領域と該検査領域に近接する近傍領域を設定する設定手段と、設定された前記近傍領域の表面形状データに基づいて前記検査領域の形状変化を各断面形状毎に求める解析手段と、該解析結果を出力する出力手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。

IPC (7件)：

G01B 21/30 101 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 101 ,  G01N 21/95 ,  G01N 21/956 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26

FI (7件)：

G01B 21/30 101 F ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 101 A ,  G01N 21/95 A ,  G01N 21/956 A ,  G11B 5/84 C ,  G11B 7/26

Fターム (63件)：

2F064AA09 ,  2F064BB07 ,  2F064EE10 ,  2F064FF02 ,  2F064GG13 ,  2F064GG51 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064HH09 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065CC03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL46 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2F069AA54 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069BB17 ,  2F069CC07 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG33 ,  2F069HH30 ,  2F069NN00 ,  2F069QQ07 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051EA12 ,  2G051FA01 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA06 ,  5D112GA02 ,  5D112GA17 ,  5D112JJ03 ,  5D121AA03 ,  5D121HH20 ,  5D121JJ05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 平坦度の測定方法および測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-315402   出願人：花王株式会社
• 特開平2-083404
  
• 試料検査装置及び試料検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-033347   出願人：株式会社ニデック