回転カップ式薄膜塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：板谷康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125622
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317353
出願日： 1999年05月06日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】回転カップの内部空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ式薄膜塗布装置において、塗布膜の均一性を上げ、かつ、薬液の選択性を向上する。【解決手段】回転カップ2の回転で発生する遠心力を利用して、回転カップ2の内部空間に外部の気体を流入させる機構を備え、この機構として回転カップ2のフード3が複数のチャンバ構造を形成したものを用い、気体の流入を制御することにより、広範囲な薬液について均一な塗布膜を形成することができる。

請求項（抜粋）：

軸受体に支持された垂直線の軸線回りに回転可能に支持され、かつ、外周壁部に薬液排出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外周壁部を囲繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有するケ-シングとを備え、前記回転カップの内部空間に装填された基板上に薬液を塗布する回転カップ式薄膜塗布装置において、前記回転カップに、その回転で発生する遠心力を利用して、その回転カップの内部空間に外部の気体を導入させる機構を備えたことを特徴とする回転カップ式薄膜塗布装置。

Fターム (4件)：

4F033PA11 , 4F033PB12 , 4F033PB16 , 4F033PC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板の回転塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129571 出願人：ソニー株式会社
レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-127581 出願人：富士通株式会社

審査官引用 (2件)

基板の回転塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129571 出願人：ソニー株式会社
レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-127581 出願人：富士通株式会社

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