特許
J-GLOBAL ID:200903099729629652

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 遠山 勉 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-321904
公開番号(公開出願番号):特開2003-121285
出願日: 2001年10月19日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】圧電型圧力センサにおいて、圧力センサの温度変化による出力誤差を補正して、センサの温度変化にかかわらず正確な圧力の測定を行うことができる技術を提供する。【解決手段】圧電素子55を具備した圧力センサ9であって、圧電素子55に予め荷重をかける加圧手段52と、圧力センサ9の温度を上昇させる温度上昇手段56と、温度上昇手段56の温度を推定する温度上昇推定手段11と、圧力センサ9周辺の温度を推定するセンサ周辺温度推定手段8と、を具備し、温度上昇手段56により圧力センサの温度が上昇されたときに温度上昇推定手段11が推定した温度及びセンサ周辺温度推定手段8が推定した温度に基づいて圧力センサ9の出力の変動を補正する。
請求項(抜粋):
加えられた圧力に応じた起電力が発生する圧電素子を具備した圧力センサであって、前記圧電素子に予め荷重をかけつつ前記圧力センサに加えられた圧力に応じて前記圧電素子に加える荷重を変化させる加圧手段と、前記圧力センサの少なくとも一部の温度を上昇させる温度上昇手段と、前記温度上昇手段が上昇させた温度を推定する温度上昇推定手段と、圧力センサ周辺の温度を推定するセンサ周辺温度推定手段と、を具備し、前記温度上昇手段により前記圧力センサの温度が上昇され、前記圧電素子にかかる荷重が変化して圧力センサの出力が変動したときに、前記温度上昇推定手段が推定した温度及び前記センサ周辺温度推定手段が推定した温度に基づいて前記加圧手段の荷重変化による前記圧力センサの出力の変動を補正することを特徴とする圧力センサ。
IPC (6件):
G01L 23/22 ,  F02D 45/00 358 ,  F02D 45/00 368 ,  G01K 7/00 381 ,  G01L 23/10 ,  G01L 27/00
FI (6件):
G01L 23/22 ,  F02D 45/00 358 M ,  F02D 45/00 368 S ,  G01K 7/00 381 L ,  G01L 23/10 ,  G01L 27/00
Fターム (13件):
2F055AA23 ,  2F055BB11 ,  2F055CC55 ,  2F055DD20 ,  2F055EE23 ,  2F055FF02 ,  3G084AA01 ,  3G084DA04 ,  3G084EA08 ,  3G084EB08 ,  3G084FA03 ,  3G084FA20 ,  3G084FA21
引用特許:
審査官引用 (2件)

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