石英ガラスルツボとその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-003921
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199370
出願日： 1998年01月12日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】ルツボ内表面の局所的な腐食・結晶化、ルツボ内表面からシリコン融液への不純物汚染をそれぞれ抑制し、ルツボ表面の変質対策やその取り扱いの不便さを解消する。【解決手段】石英ガラスルツボは結晶化促進剤を含む層と、この結晶化促進剤を含む層を覆う透明石英ガラス層とを備える。この透明石英ガラス層でルツボ壁内表面を構成する。

請求項（抜粋）：

結晶化促進剤を含む層と、この結晶化促進剤を含む層を覆う透明石英ガラス層とを備え、この透明石英ガラス層でルツボ壁内表面を構成したことを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (3件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 H , C30B 29/06 502 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

特表昭62-501067
シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-079032 出願人：信越石英株式会社
向上した無転位性能のための表面処理ルツボ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-154336 出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

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