特許
J-GLOBAL ID:200903099834175500

カラーフィルターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 数彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-104529
公開番号(公開出願番号):特開平9-274104
出願日: 1996年04月02日
公開日(公表日): 1997年10月21日
要約:
【要約】【課題】ブラックマトリックス及びカラー画素パターン形成後の表面に付着した異物を完全に除去すると同時に表面物性を適切に改質することにより、塗布、露光、現像の工程を経た後の画素欠陥を皆無にすると共に安定した画像を形成することが出来るカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】透明基板上にブラックマトリックスを形成した後、当該透明基板上のブラックマトリックス形成面に、赤、緑、青の各々の顔料を分散させた各感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィーによりカラー画素パターンを形成するカラーフィルターの製造方法において、カリウムによりpHが9〜13に調整され且つ非イオン系界面活性剤を含有する洗浄液でブラックマトリックス及び第2色目までのカラー画素パターン形成面をそれぞれ処理し、次いで、順次に次の色の感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィーによりカラー画素を形成する。
請求項(抜粋):
透明基板上にブラックマトリックスを形成した後、当該透明基板上のブラックマトリックス形成面に、赤、緑、青の各々の顔料を分散させた各感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィーによりカラー画素パターンを形成するカラーフィルターの製造方法において、カリウムによりpHが9〜13に調整され且つ非イオン系界面活性剤を含有する洗浄液でブラックマトリックス及び第2色目までのカラー画素パターン形成面をそれぞれ処理し、次いで、順次に次の色の感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィーによりカラー画素を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (2件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505
FI (2件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505
引用特許:
審査官引用 (4件)
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