変位傾斜測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240436
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066110
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は被測定物の変位及び傾斜を光学的に同時に測定する変位傾斜測定装置に関し、簡単な構成で精度よく三次元の変位及び傾斜を測定可能な変位傾斜測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】被測定物13に固定された光源ユニット14から光ビーム15a,15bを射出する。傾斜検出部18,21により光源ユニット14の傾斜を検出する。位置検出部17,20により光源ユニット14の傾斜を含む二次元的な変位を検出する。傾斜検出部18,21による傾斜検出結果と位置検出部17,20による変位検出結果とに基づいて、演算部12により光源ユニット14の変位を演算する。

請求項（抜粋）：

被測定物の変位及び傾斜を測定する変位傾斜測定装置であって、被測定物に固定されるように形成され、光ビームを射出する光源を有する光源ユニットと、前記光源ユニットから射出された光ビームを受光して、前記光源ユニットの傾斜を検出する傾斜検出部と、前記光源ユニットから射出された光ビームを受光して、前記光源ユニットの傾斜を含む二次元的な変位を検出する位置検出部と、前記傾斜検出部による傾斜検出結果と前記位置検出部による変位検出結果とに基づいて、前記光源ユニットの変位を演算する演算部とを有することを特徴とする変位傾斜測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 11/26

FI (2件)：

G01B 11/00 A , G01B 11/26 Z

Fターム (24件)：

2F065AA04 , 2F065AA33 , 2F065BB02 , 2F065BB29 , 2F065DD03 , 2F065FF24 , 2F065FF65 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065HH18 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ16 , 2F065LL02 , 2F065LL09 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL46 , 2F065PP22 , 2F065QQ28 , 2F065SS06 , 2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭58-120107
特開昭55-124007
変位傾斜測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-128879 出願人：株式会社ニコン

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