特許
J-GLOBAL ID:200903099853211500

スタンパの作成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田辺 恵基
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-194678
公開番号(公開出願番号):特開平8-045119
出願日: 1994年07月27日
公開日(公表日): 1996年02月16日
要約:
【要約】【目的】本発明は、スタンパを容易かつ短時間で作成することのできるスタンパの作成方法の実現を目的とするものである。【構成】板状の基体の一面にネガ型のフオトレジストを塗布し、記録する信号に応じたパターンでフオトレジストを露光し、現像するようにして基体の一面上にフオトレジストからなる凹凸パターンを形成し、当該凹凸パターンに基づいて光デイスク成形時の金型となるスタンパを作成するスタンパの作成方法において、基体自体を加工してスタンパとして使用するようにしたことにより、基体上に形成されるフオトレジストの凹凸パターンの転写工程を省略することができ、かくしてスタンパを容易かつ短時間で作成することのできるスタンパの作成方法を実現できる。
請求項(抜粋):
板状の基体の一面にフオトレジストを塗布し、記録する信号に応じたパターンで上記フオトレジストを露光し、現像することにより上記基体の上記一面上に上記フオトレジストからなる凹凸パターンを形成し、当該凹凸パターンに基づいて光デイスク成形時の金型となるスタンパを作成するスタンパの作成方法において、上記基体自体を加工してスタンパとして使用することを特徴とするスタンパの作成方法。
引用特許:
審査官引用 (6件)
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