特許
J-GLOBAL ID：200903099957130242
基板検査装置、基板検査システム、基板検査方法、基板検査プログラム、及び基板検査補助装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小谷 悦司
, 植木 久一
, 伊藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-299901
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069864
出願日： 2003年08月25日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 基板に形成された配線パターンの検査点を記号により特定する基板検査装置によって得られた不良配線パターンの検出結果を用いて、基板に形成された配線パターンの検査点を位置座標により特定する基板検査装置によって、当該不良配線パターンの再検査を行う。【解決手段】 基板6の表面に形成された配線パターン61,62を示すピン番号と、ピン番号で示された配線パターンの位置を示すXY座標とを関連付けて記憶するテーブル記憶部311と、検査対象となる配線パターンを示すピン番号を、ネットワーク5を介して検査対象情報として受信する通信部305と、通信部305により受信されたピン番号に関連付けられてテーブル記憶部311に記憶されている座標情報によって示される位置に移動プローブ301,302を位置させると共に、当該位置の配線パターンを検査する検査制御部304とを備えた。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成された検査対象となる配線パターンの:検査点の位置を座標で示した座標情報に基づいて、当該配線パターンに検査用接触子を位置させて当該配線パターンの検査を行う基板検査装置であって、
前記基板の表面に形成された配線パターンの検査点を示す検査点記号と前記検査点記号で示された配線パターンの検査点の位置を示す座標情報とを対応付けて記憶するテーブル記憶手段と、
検査対象となる配線パターンの検査点を示す前記検査点記号を、当該配線パターンを検査するための情報である検査対象情報として受け付ける受付手段と、
前記受付手段により受け付けられた前記検査点記号に対応付けられて前記テーブル記憶手段に記憶されている座標情報によって示される検査点位置に前記検査用接触子を位置させて、当該位置の検査点を有する配線パターンを検査する検査制御手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2G014AA03
, 2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC10
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (8件)
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