磁界センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：皿田秀夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174886
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004726
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】極めて高感度で小型の磁界センサを提供する。【解決手段】略長方形状の磁性薄膜を有し、当該磁性薄膜の長手方向両端部から高周波電流を通電する機構を有し、前記磁性薄膜の幅方向断面における形状は、その幅方向中央部近傍の膜厚をt2、幅方向端部近傍の膜厚t1とした場合、t2>t1を満たしてなるように構成する。

請求項（抜粋）：

略長方形状の磁性薄膜を有し、当該磁性薄膜の長手方向両端部から高周波電流を通電する磁界センサにおいて、前記磁性薄膜の幅方向断面における形状は、その幅方向中央部近傍の膜厚をt2、幅方向端部近傍の膜厚t1とした場合、t2>t1を満たしてなることを特徴とする磁界センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/02 , H01L 43/00

FI (2件)：

G01R 33/02 D , H01L 43/00

Fターム (8件)：

2G017AA01 , 2G017AA16 , 2G017AC09 , 2G017AD42 , 2G017AD51 , 2G017AD63 , 2G017AD65 , 2G017BA03

引用特許：

審査官引用 (6件)

磁気検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-246727 出願人：株式会社トーキン, 荒井賢一
特開平1-163686
特開昭61-081615

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