特許
J-GLOBAL ID：200903099992954738
平面研削方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-014674
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223651
出願日： 2003年01月23日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】高精度な平坦度が得られるとともに、軸の調整を容易にし、加工効率の優れた研削方法および装置を提供する。【解決手段】水平面内で回転駆動されるウエーハを、垂直方向に配置されたスピンドルヘッドの下部に取り付けられた砥石により研削するインフィード方式の平面研削方法において、該砥石と該ウエーハとの接触弧に沿った方向(Y方向)およびこれに直交する方向(X方向)からなる座標系(X-Y)方向の2方向に対して該スピンドルヘッドの軸の傾き成分を分解し、該スピンドルヘッドの相対的な傾きを調整するようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
水平面内で回転駆動されるウエーハを、垂直方向に配置されたスピンドルヘッドの下部に取り付けられた砥石により研削するインフィード方式の平面研削方法において、該砥石と該ウエーハとの接触弧に沿った方向(Y方向)およびこれに直交する方向(X方向)からなる座標系(X-Y)方向の2方向に対して該スピンドルヘッドの軸の傾き成分を分解し、該スピンドルヘッドの相対的な傾きを調整することを特徴とする平面研削方法。
IPC (3件)：
B24B7/22
, B24B49/10
, H01L21/304
B24B7/22 Z
, B24B49/10
, H01L21/304 631
3C034AA08
, 3C034BB42
, 3C034BB92
, 3C034CA30
, 3C034CB08
, 3C034DD10
, 3C043BB00
, 3C043CC04
, 3C043DD02
