Si(111)/CoSi<sub>2</sub>/Si構造におけるダブルヘテロエピタクシー

文献

J-GLOBAL ID：201002071399032790 整理番号：80A0353130

Si(111)/CoSi₂/Si構造におけるダブルヘテロエピタクシー

Double heteroepitaxy in the Si(111)/CoSi₂/Si structure.

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資料名：
巻： 37 号： 2 ページ： 203-205 発行年： 1980年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si基板上へのCoSi₂膜のエピタキシ...

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