抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナノ三次元座標測定器(Coordinate Measuring Machine:CMM)用のプローブとして光ファイバトラッピングプローブを示した。ナノCMMは,計量基準によって校正された高分解能基準スケールを三次元空間で移動し,プローブが接触したマイクロ部品の空間座標を高精度に検出することによって,三次元形状計測を行うものである。テーパ型先端を持つ光ファイバを利用し,単一光ファイバを用いて真球粒子をトラッピングすることに成功した。真球粒子をプローブ球として使った接触実験では,真球粒子が被測定物の表面と接触すると,光ファイバ先端に再入射する光の強度が変化することを確認した。その光強度の変化をプローブ信号として利用可能である。