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J-GLOBAL ID：201002205748811170   整理番号：10A0025233

ナノCMM用光ファイバトラッピングプローブ

著者 (2件)： 嚴祥仁 (東北大) ,  高谷裕浩 (大阪大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 21  号： 1  ページ： 51-56  発行年： 2010年01月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ三次元座標測定器(Coordinate Measuring Machine:CMM)用のプローブとして光ファイバトラッピングプローブを示した。ナノCMMは,計量基準によって校正された高分解能基準スケールを三次元空間で移動し,プローブが接触したマイクロ部品の空間座標を高精度に検出することによって,三次元形状計測を行うものである。テーパ型先端を持つ光ファイバを利用し,単一光ファイバを用いて真球粒子をトラッピングすることに成功した。真球粒子をプローブ球として使った接触実験では,真球粒子が被測定物の表面と接触すると,光ファイバ先端に再入射する光の強度が変化することを確認した。その光強度の変化をプローブ信号として利用可能である。

シソーラス用語： マイクロプローブ ,  レーザ応用 ,  *形状測定 ,  光トラッピング ,  光ファイバ ,  *座標測定機 ,  *三次元測定 ,  三次元形状測定
準シソーラス用語： 3D形状測定

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (2件)： CMM ,  光ファイバ