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J-GLOBAL ID：201002206130632157   整理番号：10A0722474

微量元素分析用高周波/パルス重畳大気圧マイクロプラズマ源の評価

Evaluation of DC Biased RF / Pulsed Atmospheric Microplasma Source for Trace Elemental Analysis

著者 (7件)： 永田洋一 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  宮原秀一 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  大場吾郎 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  磯部高範 (東京工業大学統合研究院) ,  嶋田隆一 (東京工業大学統合研究院) ,  堀田栄喜 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻) ,  沖野晃俊 (東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 130  号： 7  ページ： 669-676 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微量元素分析用大気圧マイクロプラズマ源のプラズマ特性及び分析性能を改善するため,高周波及びパルス重畳直流動作マイクロプラズマ源の実験を行った。高周波重畳直流動作では直流電力6Wに高周波電力40Wを重畳し46Wに向上した結果,励起温度が約400K上昇し,電子密度が1.4倍となりプラズマ特性の改善ができたが,ハロン1211の発光分光分析を行ったところ,分析感度の顕著な改善は見られなかった。一方,パルス重畳直流動作では直流電力11Wにパルス電力を重畳印加することで出力を14.5Wに向上できた。ハロゲン元素の発光分光分析を行ったところ,直流動作時に比べ,約35%検出下限値が改善でき,パルス重畳直流動作が分析性能改善に有効であった

シソーラス用語： *微量元素 ,  *元素分析 ,  *プラズマ源 ,  *ハロゲン ,  *大気プラズマ ,  高感度 ,  プラズマ生成 ,  直流電源 ,  *発光分析 ,  マイクロプラズマ

分類 (1件)： 分光分析  (CC03012W)

引用文献 (18件)：

• (1) H. Haraguchi : “Metallomics as Integrated Biometal Science”, J. Anal. At. Spectrom., Vol. 19, No. 1, pp. 5-14 (2004)
• (2) S. H. Tan and G. Horlick : “Background Spectral Features in Inductively Coupled Plasma/Mass Spectrometry”, Appl. Spectrosc., Vol. 40, No. 4 pp. 445-460 (1986)
• (3) A. Montaser, Ed. : Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, Wiley-VCH, New York (1998)
• (4) G. Ohba, H. Miyahara, M. Watanabe, E. Hotta, and A. Okino : “Development of Microplasma Source for Trance Elemental Analysis and Its Application to AES Measurement of Halogen”, Bunseki Kagaku, Vol. 55, No. 8, pp. 555-560 (2006) (in Japanese)
• 大場吾郎・宮原秀一・渡辺正人・堀田栄喜・沖野晃俊:「微量元素分析用マイクロプラズマ源の開発とハロゲン元素の発光分析」,分析化学,55, 8, pp. 555-560 (2006)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微量元素分析 ,  高周波 ,  パルス ,  重畳 ,  大気圧マイクロプラズマ ,  評価