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J-GLOBAL ID：201002212856683508   整理番号：10A0060034

微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性

Lubrication Property of Carbon Onions on Silicon Surface with Fine Patterns

著者 (2件)： 稲葉武信 (東京工大 大学院) ,  平田敦 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 1  ページ： 59-63  発行年： 2010年01月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,摺動表面性状がナノメートルスケールのカーボンオニオンの潤滑特性に与える影響について摩擦試験を行い検討した。平均粒径5および20nmの2種類のカーボンオニオンと,比較として平均粒径1μmのMoS₂を試料とした。摺動部材としてシリコン板を用い,リソグラフィーおよびプラズマエッチングにより微細パターンを形成した。固体潤滑では摺動面に安定した潤滑膜の形成が重要であり,微細パターンを形成したシリコン板表面でのカーボンオニオン潤滑膜の形成状態を摩擦係数,潤滑寿命の観点から評価した。これからシリコン板上の微細パターンの凹凸深さと潤滑剤の粒径との関係が潤滑状態に与える影響について検討し,またシリコン板に形成する微細パターンの形状が潤滑に及ぼす影響についても検討した。これにより得た主な知見を次に示した。1)カーボンオニオンの粒径と同程度の凹凸深さの微細パターン上で低摩擦・長寿命の良好な潤滑状態が得られること,2)カーボンオニオンは摺動材表面に厚さ数十nmの膜を形成し,潤滑および表面保護膜としてはたらくこと,3)微細パターンの形状を変化させた結果,摺動方向に平行な溝を形成した表面上で最も良い潤滑状態が得られること。

シソーラス用語： クラスタ分子 ,  *炭素 ,  超微粒子 ,  潤滑 ,  *固体潤滑剤 ,  表面粗さ ,  微細構造 ,  粒径 ,  潤滑膜 ,  形態 ,  摩擦試験 ,  摩擦係数 ,  ナノ構造 ,  滑り摩擦 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： *カーボンオニオン ,  *潤滑特性 ,  *表面形状

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細パターン ,  シリコン ,  カーボンオニオン ,  潤滑特性