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J-GLOBAL ID：201002216863183303   整理番号：10A0626908

金超薄膜と弾性基板間界面における初期塑性の評価

Evaluation of incipient plasticity from interfaces between ultra-thin gold films and compliant substrates

著者 (4件)： HIRAKATA Hiroyuki (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  OGIWARA Hiroki (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  YONEZU Akio (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  MINOSHIMA Kohji (Dep. of Mechanical Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 518  号： 18  ページ： 5249-5256  発行年： 2010年07月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミド(弾性)とガラス(剛性)の2種類の基板上の30nm厚Au膜についてナノインデンテーション実験を実施し,界面における初期塑性の支配的なメカニズムを明らかにした。弾性基板の使用により,Au/ポリイミド界面に高分解能せん断応力τ_rを有効に印加でき,この結果界面に塑性変形を開始させることが可能になった。界面における臨界分解せん断応力τ_crssは0.4~0.5GPaであった。他方,Au/ガラス系ではτ_rはAu膜内でピークを記録し,圧子径に依存してその値は1.1~2.2GPaであったがAu/ガラス界面におけるτ_rはほぼ同一の0.5~0.7GPaであった。この結果から,塑性変形はAu/ガラス界面から発生した可能性が高いことが分かった。界面における不均一核生成の場合のτ_crssの値は,Au膜中の均一核生成のそれよりも小さかった。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *超薄膜 ,  金属薄膜 ,  *金 ,  塑性 ,  *塑性変形 ,  *ポリイミド ,  *ガラス ,  *ナノインデンテーション ,  剪断応力 ,  臨界剪断応力 ,  弾性材料 ,  界面 ,  核形成 ,  転位【結晶】 ,  圧子 ,  弾性係数 ,  電子回折 ,  主応力
準シソーラス用語： EBSD ,  荷重-変位曲線 ,  転位核生成

分類 (2件)： 金属の機械的性質  (BL01022T) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 金 ,  超薄膜 ,  弾性 ,  界面 ,  初期 ,  塑性 ,  評価