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文献
J-GLOBAL ID:201002217635771021   整理番号:10A0912723

微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め

Fast and Precise Positionig with Feedfoward Distrubance Compensation in Micro-Scopic Region
著者 (3件):
資料名:
巻: IIC-10  号: 160-171  ページ: 13-18  発行年: 2010年08月31日
JST資料番号: X0577A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本稿では,テーブルシステムの高速且つ高精度の位置決めを達成するために,微小変位領域における外乱に対するフィードフォワード補償の方法を示した。微小変位領域においては,非線形摩擦が変位に依存して非線形のスプリング特性を示すので,テーブルの位置決め精度は運動の方向,たとえば,インチング運動および繰返し運動などに従って変化する可能性がある。サーボ帯域幅の拡張は,ロバストな位置決め性能を達成するための解決策の一つでありうるが,その制御安定性は高周波の振動モードのために悪くなる。本稿では,非線形摩擦に対するフィードフォワード補償方法を示した。その外乱モデルを数学的に公式化し,そしてその外乱モデルの出力が運動方向と無関係に非線形摩擦を補償することができる。外乱モデリングおよび補償による提案の位置決め制御の方法を機械スタンドにおける線形テーブルシステムを使って実験によって検証した。
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分類 (4件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
運動機構  ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  精密機械一般  ,  制御応用一般 

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