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J-GLOBAL ID：201002220820455153   整理番号：10A0931874

高速AFMに対するZスキャナを考慮した表面トポグラフィーオブザーバの提案

Proposal of Surface Topography Observer considering Z-scanner for High-speed AFM

著者 (2件)： SHIRAISHI Takayuki (Yokohama National Univ., JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., JPN)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2010 Vol.4  ページ： 2754-2759  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AFMの計測時間は非常に長い(通常数分)ため,研究および産業の分野から,高速化が求められている。このような状況の中で,本報では,AFMの高速画像処理の実用化をめざした。一般のAFMにおいて,画像はZスキャナの制御入力から得られが,それを高速処理する場合には,プラントの共鳴による妨害を受ける。これに関する先の研究では,オブザーバ理論に基づいて表面トポグラフィー推定を可能にする,表面トポグラフィーオブザーバを提案した。本報では,このオブザーバで用いたものよりもさらに詳細な改良型動的モデルを構築し,それにより,新型の高速表面トポグラフィーオブザーバを開発した。シミュレーションと実験の結果から,提案した方法の有効性を明らかにした。

シソーラス用語： *高速化 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *走査装置 ,  表面 ,  *トポグラフィー【形態】 ,  観測装置 ,  計測 ,  時間 ,  画像処理 ,  ダイナミックモデル ,  シミュレーション ,  実験 ,  原子間相互作用 ,  光学的測定
準シソーラス用語： *Zスキャナ ,  *オブザーバ

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (5件)： AFM ,  スキャナ ,  表面トポグラフィー ,  オブザーバ ,  提案