抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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携帯電話など高周波無線機器に使用する薄膜インダクタについて必要な材料特性,導体デザインなどについて概説した。磁性薄膜として優れた高周波特性が報告されているグラニュラー系磁性薄膜の特性と実際に製作した磁性薄膜インダクタの特性について述べ,インダクタ導体デザインや磁性薄膜物性の影響について解説した。CoFeSiO/SiO
2 多層グラニュラーフィルムと銅スパイラルコイルで製作したインダクタはサイズ670x670μm
2であった。強磁性共鳴損失,渦電流損失の影響抑制と高インダクタンス効率の充分な活用が実デバイス応用の鍵である。