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J-GLOBAL ID：201002234932962660   整理番号：10A0159235

太陽電池における光の有効利用技術 結晶系シリコン太陽電池のドライエッチングによるテクスチャー形成

著者 (1件)： 齋藤洋司 (成けい大 理工)
資料名： 機能材料  (Function & Materials)
巻： 30  号： 3  ページ： 13-17  発行年： 2010年02月05日 
JST資料番号： Y0021A  ISSN： 0286-4835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 結晶系太陽電池の光閉じ込めによる高効率化法としてテクスチャー構造形成があるが,その形成法としてドライエッチング法についてその原理から形成例について解説する。特に反応性イオンエッチングによる方法および反応性ガスを用いる方法を詳細に述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *閉込め ,  効率 ,  *ドライエッチング ,  RIE【エッチング】 ,  単結晶 ,  *ケイ素 ,  半導体 ,  光反射 ,  素子構造
準シソーラス用語： ランダムテクスチャー構造 ,  *光閉込め ,  高効率 ,  反応性イオンエッチング

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 太陽電池 ,  有効利用 ,  結晶系 ,  シリコン太陽電池 ,  ドライエッチング