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J-GLOBAL ID：201002239250984222   整理番号：10A1056226

大型超精密ステージの位置決め制御のための完全追従制御法の応用

著者 (3件)： 坂田晃一 (横浜国大) ,  藤本博志 (東大) ,  佐伯和明 (ニコン)
資料名： 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM)  (日本ロボット学会学術講演会(CD-ROM))
巻： 28th  ページ： ROMBUNNO.1F1-3  発行年： 2010年 
JST資料番号： L4867A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大型超精密位置決めステージは半導体や液晶パネル製造等に欠かせない産業機器である。高速・高精度位置決め制御は,生産性や製品の精密化に大きく関わる重要な技術である。しかしながら,その構造上,大型ステージは低い共振モードを持つ。このため,正確なフィードフォワード制御器を有する2自由度制御系が重要である。本論文では,前半に大型超精密ステージへの制振PTC法の適用とのその効果について述べ,後半にPTCに基づく2台のステージの同期位置決め制御について述べる。産業機器では,複数ステージの同期位置決め制御がしばしば要求され,製品の最終的な性能を決める重要な制御技術である。(著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  超精密加工 ,  *追従制御 ,  同期制御
準シソーラス用語： マルチレート制御 ,  位置決め制御 ,  *完全追従制御 ,  *精密ステージ

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大型 ,  超精密 ,  ステージ ,  位置決め制御 ,  完全追従制御 ,  応用