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J-GLOBAL ID：201002242332536300   整理番号：10A0545658

実験室共焦3D-XRF分光計および非破壊深さプロファイリングの開発

Development of laboratory confocal 3D-XRF spectrometer and nondestructive depth profiling

著者 (3件)： NAKANO Kazuhiko (Osaka City Univ., Osaka, JPN) ,  NAKANO Kazuhiko (Japan Sci. and Technol. Agency, JPN) ,  TSUJI Kouichi (Osaka City Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Analytical Atomic Spectrometry  (Journal of Analytical Atomic Spectrometry)
巻： 25  号： 4  ページ： 562-569  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： C0770C  ISSN： 0267-9477  CODEN： JASPE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 実験室X線源を用いて作製された,共焦3D-X線蛍光(XRF)分光計の深さ分解能,深さ感度,および検出限界を研究した。10μm厚みのAu箔のスキャニングによって得られた3D-XRF装備の深さ分解能は,AuLαに対しておよそ50μmであった。入射および検出ビーム間の角度を90°へ最適幾何学的配置を変えるために共焦配置を変えることによって,各元素の深さ分解能が大きく改善された。また共焦3D-XRFの分析性能を評価するためにプラスチック層状リファレンス材料が有効であることが確認された。さらに,3D-XRFの工業用プラスチック,化学的マイクロチップ,および生物学的試料への多くの応用も例示した。

シソーラス用語： *非破壊分析 ,  *深さプロフィル ,  *蛍光X線分析 ,  *三次元 ,  生体試料 ,  フローインジェクション分析 ,  箔 ,  実験室系
準シソーラス用語： マイクロチップ分析法 ,  金箔

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 実験室 ,  3D ,  XRF ,  分光計 ,  深さプロファイリング ,  開発