CoPtビットパターン媒体の電気化学的製造とキャラクタリゼーション  湿式化学と大規模製造に向けて

OUCHI Takanari; ARIKAWA Yuki; KUNO Taisuke; MIZUNO Jun; SHOJI Shuichi; HOMMA Takayuki

文献

J-GLOBAL ID：201002248949795440 整理番号：10A0617340

CoPtビットパターン媒体の電気化学的製造とキャラクタリゼーション湿式化学と大規模製造に向けて

Electrochemical Fabrication and Characterization of CoPt Bit Patterned Media: Towards a Watchemical, Large-Scale Fabrication

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資料名：
巻： 46 号： 6 ページ： 2224-2227 発行年： 2010年06月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高密度記録媒体の更なる高密度化においては強磁性体のナノドット化が重要となるが,この形成方法に関して著者等は広く利用されているPVDとリソグラフィーによる成形技術とは異なる湿式化学手法を提案した。本手法は,紫外線硬化樹脂を用いナノ円柱がパターン形成された石英型でプレス成形することでナノドットアレイ(凹型)を形成し,樹脂を硬化した後電着によって磁性体を充填させるものである。実験においては,CoPtナノドットを電気メッキによって形成し,最終的に化学機械研磨によって表面を仕上げた。このようにして得たサンプルのナノ構造観察(TEMおよびAFM)および磁気的性質評価を実施した。この結果,所期のピットパターン形成を量産に適したナノインプリントリソグラフィー(NIL)によって形成できることを確認すると共に,430kA/mの垂直磁気保磁力を有することを見出した。

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固体デバイス製造技術一般

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