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J-GLOBAL ID：201002250265892824   整理番号：10A0533468

水晶振動子センサーによるシラン-水素混合気体中のシラン濃度比測定

Measurement for Silane Density in Silane-Hydrogen Gas Mixtures Using a Quartz Sensor

著者 (5件)： 鈴木淳 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  柄澤稔 (産業技術総合研究所計測太陽光発電研究センター) ,  永井武彦 (産業技術総合研究所計測太陽光発電研究センター) ,  野中秀彦 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  近藤道雄 (産業技術総合研究所計測太陽光発電研究センター)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 53  号： 3  ページ： 162-164 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水晶振動子センサー(Qセンサー)を用いて薄膜シリコン製造用装置においてシラン-水素混合気体中のシラン濃度比を測定した。これまで使用してきた水晶摩擦真空計中の測定子であるQセンサーを直接用いることにより濃度測定の高精度化が可能かどうかを検討した。シラン濃度比に対するQセンサー値は単調ではなく,シラン濃度が増大するに従いシラン濃度比に対する依存性が小さくなる。しかしながら逆に通常の薄膜シリコン製造で用いる低シラン濃度比領域での測定濃度分解能は比較的高く,全圧1333.0Paでは0.03vol%であった,シランの流量比と装置中のシラン濃度比は必ずしも一致しておらず,流量比の制御だけでは装置中のシラン濃度比を調節することが困難であることを見出した。したがって実際にシラン濃度比を測定することがその制御には必要である。

シソーラス用語： *水晶振動子 ,  *シラン ,  *水素 ,  混合気体 ,  *計測 ,  Q値 ,  *比率
準シソーラス用語： *濃度比

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (5件)：

• 1) http://unit.aist.go.jp/rcpv/ci/about_pv/types/TF-Si.html:
• 2) A. Kurokawa, K. Odaka and S. Ichimura: Vacuum, 73 (2004) 301.
• 3) K. Kokubun, M. Hirata, H. Murakami, Y. Toda and M. Ono: Vacuum, 34 (1984) 731.
• 4) A. Suzuki and H. Nonaka: Int. J. Hydrogen Energy, 33 (2008) 6385.
• 5) A. Suzuki and H. Nonaka: Jpn. J. Appl. Phys., 47 (2008) 3661.

タイトルに関連する用語 (6件)： 水晶振動子 ,  センサー ,  シラン ,  水素 ,  混合気体 ,  濃度比