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J-GLOBAL ID：201002251599962455   整理番号：10A0754018

HTS磁気浮上の適用による半導体関連製造システムのクリーンプロセスのための非接触スピンプロセッサの研究開発

Research and Development of Non-Contact Spin Processor for Clean Process in Semiconductor-Related-Production System by Applying HTS Magnetic Levitation

著者 (9件)： FUKUI Satoshi (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  KAZAMA Kyosuke (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  SEKIYA Syouta (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  OGAWA Jun (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  OKA Tetsuo (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  SATO Takao (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  SORIMACHI Satoshi (Sophia Univ., Tokyo, JPN) ,  SAITO Kimiyo (Sophia Univ., Tokyo, JPN) ,  MIYAZAKI Shinsuke (Sophia Univ., Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 20  号： 3  ページ： 977-980  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (10件)： HTS ,  磁気浮上 ,  製造システム ,  クリーン ,  プロセス ,  非接触 ,  スピン ,  プロセッサ ,  研究 ,  開発