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J-GLOBAL ID：201002251741357939   整理番号：10A1102257

将来衛星に向けた超軽量,高分解能MEMS光学系の基礎開発(3)

著者 (16件)： 石津健佑 (首都大学東京) ,  江副祐一郎 (首都大学東京) ,  三石郁之 (JAXA 宇宙研) ,  石川久美 (首都大学東京) ,  森山鉄平 (首都大学東京) ,  満田和久 (JAXA 宇宙研) ,  大橋隆哉 (首都大学東京) ,  洞出光洋 (立命館大) ,  杉山進 (立命館大) ,  RIVEROS Raul (フロリダ大) ,  BOGGS Taylor (フロリダ大) ,  山口ひとみ (フロリダ大) ,  金森義明 (東北大) ,  森下浩平 (京大) ,  中嶋一雄 (京大) ,  前田龍太郎 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.15A-ZT-11  発行年： 2010年08月30日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 軽量化 ,  高分解能 ,  *MEMS ,  *光学系 ,  開発 ,  天文衛星 ,  屈折率 ,  集光 ,  全反射 ,  ケイ素 ,  ドライエッチング ,  穴 ,  側壁 ,  水素 ,  焼なまし ,  磁気研磨 ,  塑性変形 ,  X線回折 ,  可視光 ,  結像 ,  表面粗さ ,  酸化膜 ,  レジスト
準シソーラス用語： LIGA ,  X線天文衛星 ,  角度分解能 ,  鏡面

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 衛星 ,  軽量 ,  高分解能 ,  MEMS ,  光学系 ,  基礎 ,  開発