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J-GLOBAL ID：201002254374837081   整理番号：10A0640526

縮小化次元における熱分解カーボンの電気特性の研究:ビアとワイア

An investigation of the electrical properties of pyrolytic carbon in reduced dimensions: Vias and wires

著者 (5件)： GRAHAM A. P. (NaMLab gGmbH, Noethnitzer Strasse 64, 01187 Dresden, DEU) ,  SCHINDLER G. (Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-12, 85579 Neubiberg, DEU) ,  DUESBERG G. S. (Centre for Res. on Adaptive Nanostructures and Nanodevices, Trinity Coll., Dublin, Ireland) ,  LUTZ T. (Centre for Res. on Adaptive Nanostructures and Nanodevices, Trinity Coll., Dublin, Ireland) ,  WEBER W. (NaMLab gGmbH, Noethnitzer Strasse 64, 01187 Dresden, DEU)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 11  ページ： 114316  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールの縦接続構造(ビア)が化学気相成長法により作られ研究された。ビヤとワイアは電子ビームリソグラフィーと反応性イオンエッチングにより950°Cでアセチレンから堆積させた熱分解カーボンから作られた。カーボン層はビヤとワイアにおいて4.5mΩcmの抵抗率であり,1000°Cのアニーリングにより1.5mΩcmに減少する。抵抗率はビヤにおいては直径を85nmから24nmに小さくしてもサイズ効果を示さない。長いカーボンワイアにおける最大電流密度は6×10⁶Acm^-2であり短いビヤでは3.5×10⁸Acm^-2に増加することが見いだされた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 規模 ,  *熱分解 ,  *炭素 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  *RIE【エッチング】 ,  *細線 ,  電気抵抗率 ,  *ナノ構造 ,  *相互接続 ,  *マイクロエレクトロニクス ,  *バイアホール ,  アルキン
準シソーラス用語： ナノスケール ,  反応性イオンエッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： 縮小 ,  次元 ,  熱分解カーボン ,  電気特性 ,  研究 ,  ワイア