文献

J-GLOBAL ID：201002254631940360   整理番号：10A0268140

SiC多形結晶の電子照射誘起構造変化に及ぼす電子励起効果と弾き出し効果

著者 (4件)： 保田英洋 (神戸大 工) ,  新田紀子 (神戸大 工) ,  今村真幸 (神戸大 工) ,  森博太郎 (阪大 電顕セ)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 65  号： 1 第4分冊  ページ： 978  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  多形 ,  *電子照射 ,  変化 ,  電子励起 ,  はじき出し損傷 ,  アモルファス化 ,  単結晶 ,  イオンエッチング ,  薄膜 ,  微細構造 ,  その場観察 ,  周期構造 ,  立方晶系 ,  照射線量 ,  積層欠陥 ,  結晶構造
準シソーラス用語： 構造変化 ,  *6H-SiC

分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： SiC ,  多形 ,  結晶 ,  電子照射 ,  誘起 ,  構造変化 ,  電子励起