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J-GLOBAL ID：201002262861716420   整理番号：10A0315891

液相分析法とマイクロ波放電プラズマ加熱法により合成した酸化チタンの表面分析

著者 (4件)： 本郷健太 (山梨大 クリーンエネルギー研究セ) ,  荒井哲司 (山梨大 クリーンエネルギー研究セ) ,  佐藤哲也 (山梨大 クリーンエネルギー研究セ) ,  中川清和 (山梨大 クリスタル科学研究セ)
資料名： Journal of Surface Analysis  (Journal of Surface Analysis)
巻： 16  号： 3  ページ： A.118  発行年： 2010年03月15日 
JST資料番号： L3852A  ISSN： 1341-1756  CODEN： JSANFX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液相抽出法とマイクロ波放電プラズマ加熱法で合成したTiO₂の表面分析結果を報告する。X線回折とレーザーRamanで酸化チタンの結晶評価を行ない,X線光電子分光法で化学結合状態を解析した。水素放電プラズマ加熱では,約8秒の加熱によりアナターゼ型に結晶化する500°Cに到達し,20秒程度で約1000°Cに到達した。窒素プラズマおよび酸素プラズマの場合には,基板温度は上昇していないことがわかった。X線回折から,プラズマ加熱では電気炉に比べて非常に短時間で結晶化できることを見出した。一方,酸素放電プラズマ加熱の場合,加熱時間の増加とともにアナターゼ由来のピークが大きくなり約30秒間の過熱で,電気炉加熱(500°C,12時間)と同等に結晶化できた,透過型電子顕微鏡法観察により,TiO₂が多孔質構造であり,薄膜表面から石英基板表面まで全域で結晶化されていることを示した。

シソーラス用語： *酸化チタン ,  マイクロ波放電 ,  プラズマ ,  *表面分析 ,  X線回折 ,  X線光電子スペクトル ,  化学合成 ,  *プラズマ加熱 ,  *結晶化 ,  *多孔質体
準シソーラス用語： 放電プラズマ

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 液相 ,  分析法 ,  マイクロ波放電 ,  プラズマ加熱 ,  酸化チタン ,  表面分析