佐藤哲也

サトウテツヤ | Tetsuya Sato

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (1件)： http://www.szr.yamanashi.ac.jp/research/intro_lab/intro_tsato_lab

研究分野 (7件)：グリーンサステイナブルケミストリー、環境化学 , 複合材料、界面 , 反応工学、プロセスシステム工学 , 薄膜、表面界面物性 , 半導体、光物性、原子物理 , プラズマ応用科学 , 基礎物理化学

研究キーワード (6件)：トンネル反応 , 二次イオン質量分析 , 薄膜 , プラズマ化学 , 極低温 , 原子・分子

論文 (7件)：

特許 (1件)：

講演・口頭発表等 (12件)：

c-C4F8凝縮層への低速電子照射により銅基板上に低温形成した a-C:Fの物性評価
(2022年第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
c-C4F8/Si(CH3)4混合凝縮層の電子照射による a-SiC:Fの低温合成
(2022年第69回応用物理学会春季学術講演会 2022)
Fabrication and Characterization of Ge-based MIS structures
(240th ECS Meeting 2021)
Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価
(第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas
(The 16th Pacific Polymer Conference 2019)

学位 (2件)：

Photodissociation Dynamics of Triatomic Molecules Studied by Laser and Mass Spectroscopic Techniques (東京農工大学)
博士(工学) (東京農工大学)

経歴 (5件)：

委員歴 (1件)：

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佐藤 哲也