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J-GLOBAL ID：201002262973354806   整理番号：10A1090888

局所湿式エッチングによる超精密ミリメータ厚さ楕円中性子屈折反射鏡基板の作製

Fabrication of Ultraprecision Millimeter-thick Elliptical Neutron Focusing Mirror Substrate by Local Wet Etching

著者 (7件)： YAMAGA Fumiya (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NAGANO Mikinori (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ZETTSU Nobuyuki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAZAKI Dai (Japan Atomic Energy Agency, Ibaraki, JPN) ,  MARUYAMA Ryuji (Japan Atomic Energy Agency, Ibaraki, JPN) ,  SOYAMA Kazuhiko (Japan Atomic Energy Agency, Ibaraki, JPN) ,  YAMAMURA Kazuya (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 447/448  ページ： 208-212  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 実用的スーパーミラー装置を実現するために,その反射鏡を作製する数値制御局所湿式エッチング(NC-LWE)を開発した。また,多層NiC/Tiを蒸着させるために,イオンビームスパッタリング法も開発した。CeO₂スラリー研磨によるNC-LWE描画法を利用して,ミリメータ厚さ楕円中性子屈折反射鏡基板の作製法を提案した。

シソーラス用語： *反射鏡 ,  *エッチング ,  イオンビームスパッタリング ,  研磨 ,  表面粗さ ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *スーパーミラー ,  湿式エッチング

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 湿式エッチング ,  超精密 ,  厚さ ,  楕円 ,  中性子 ,  屈折 ,  反射鏡 ,  作製