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J-GLOBAL ID：201002266220239503   整理番号：10A0950403

照射パルス数制御に基づくエキシマレーザー3次元機械加工

Excimer Laser 3D Machining Based on Irradiation Pulse Number Control

著者 (4件)： TANAKA Tomohisa (Dept. Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  SUZUKI Ryo (Production Engineering Dep., Denso Corp.) ,  ZHU Jiang (Dept. Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  SAITO Yoshio (Dept. Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 4  号： 5  ページ： 1033-1043 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分子材料はその良好な特性,軽重量,大量生産に対して使いやすい,等の理由で今日種々の応用に広く使われている。この研究では,レーザー光線の走査速度をコントロールすることによって自由に設計された形状を作ることのできる3次元レーザー製造システムを構築することを試みた。最初に,PMMAに対するKrFエキシマレーザーアブレージョンの特性を予備研究として研究した。この段階では,理論的シミュレーションに結果および実際の機械加工実験の結果から,機械加工深さはレーザー照射パルス数に比例することが分かった。それ故,レーザー周波数が一定のときは,パルス数および機械加工深さはターゲット材料の表面へのレーザービームの送り速度によってコントロールすることができる。この概念に基づいて,3次元製造システムを構築した。それは,ビームの送り速度をコントロールすることによるアブレージョンプロセスを用いてPMMAの自由表面を機械加工することができる。最後に,システムによりいくつかの初期の形状を実際に機械加工した。これらの形状の評価から,提案概念およびシステムの利用可能性が確実になった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 機械工作 ,  *三次元 ,  エキシマレーザ ,  *レーザアブレーション ,  レーザパルス ,  数 ,  深さ ,  *KrFレーザ
準シソーラス用語： *KrFエキシマレーザ ,  パルス数 ,  加工深さ ,  *機械加工

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (6件)：

• (1) The Institute of Electrical Engineers of Japan Ed., Laser Ablation and Applications (in Japanese), (1999), pp.145-152, The Institute of Electrical Engineers of Japan.
• (2) Sugaya,K., Tanaka,T. and Saito,Y., Three dimensional form generation of polymer by eximer laser processing, Proceedings of the Spring Meeting of Japan Society of Precision Engineering, (2006), pp.1231-1232.
• (3) Yoshii,K., Nishizono,T., et.al, Study on machining of micro 3-diemensional shape by using ultra-violet pulse laser (in Japanese), Proceedings of the Spring Meeting of Japan Society of Precision Engineering, (2002), p.393.
• (4) Senba,T., Yamaguchi,T. and Amamoto,Y., Three-Dimensional Microfabrication System Using Focused Fiber Laser Beam, Proceedings of the 4th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21th Century, No.07-205 (2007-Nov.), pp.843-848.
• (5) Choi,K.H., Meijer,J., Masuzawa,T. and Kim,D.H., Excimer laser micromachining for 3D microstructure, Journal of Materials Processing Technology, 149 (2004), pp.561-566.

タイトルに関連する用語 (4件)： パルス数 ,  エキシマレーザー ,  3次元 ,  機械加工