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J-GLOBAL ID:201002267522988846   整理番号:10A0714211

NaフラックスLPE法によるGaN結晶の成長

Growth of GaN crystals by Na flux LPE method
著者 (7件):
資料名:
巻: 207  号:ページ: 1283-1286  発行年: 2010年06月 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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第13族元素と窒素の化合物の高品質,低コストバルク結晶の成長法探索の一環としてNaフラックス法を改善した。核形成プロセスの制御と溶液条件がGaNバルク結晶の成長に重要である。このために,炭素ドーピングと溶液の強制的撹拌が有効であることを明らかにした。さらに種結晶の結晶品質を改善し,ブール状のバルクGaN結晶成長が可能であることを明らかにした。
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
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