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J-GLOBAL ID：201002269837992682   整理番号：10A0640405

極端紫外源のためのスズプラズマの放射特性のモデリング

Modeling of radiative properties of Sn plasmas for extreme-ultraviolet source

著者 (9件)： SASAKI Akira (Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa-shi, Kyoto 619-0215, JPN) ,  SUNAHARA Atsushi (Inst. for Laser Technol., 1-8-4 Utsubohonmachi, Nishi-ku, Osaka 550-0004, JPN) ,  FURUKAWA Hiroyuki (Inst. for Laser Technol., 1-8-4 Utsubohonmachi, Nishi-ku, Osaka 550-0004, JPN) ,  NISHIHARA Katsunobu (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  FUJIOKA Shinsuke (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  NISHIKAWA Takeshi (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Okayama Univ., 1-1 Naka 1-chome, Tsushima, Okayama 700-8530, JPN) ,  KOIKE Fumihiro (Physics Lab., School of Medicine, Kitasato Univ., 1-15-1 Kitasato, Sagamihara, Kanagawa 228-8555, JPN) ,  OHASHI Hayato (Dep. of Physics, Tokyo Metropolitan Univ., 1-1 Minami-Osawa, Hachioji, Tokyo 192-0397, JPN) ,  TANUMA Hajime (Dep. of Physics, Tokyo Metropolitan Univ., 1-1 Minami-Osawa, Hachioji, Tokyo 192-0397, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 11  ページ： 113303  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スズプラズマにおける原子過程を,マイクロリソグラフィーで用いる極端紫外(EUV)光源への応用のために調べる。我々は,Hebrew大学Lawrence Livermore原子コードを用いる,計算した原子データに基づき,スズプラズマの完全衝突放射(CR)モデルを開発する。EUV放射にかなり寄与する,スズイオンの単一及び多重励起状態からの共鳴線と衛線を同定し,放射スペクトルへのそれらの効果の系統的研究を通じてモデルに含める。Sn⁵⁺からSn¹³⁺までの4d-4f+4p-4d遷移の波長を調べる。原子構造の計算における配置相互作用の効果と関連する,EUV源の変換効率の決定についてのそれらの重要性のために。計算した放射スペクトルを,荷電交換分光法及びレーザ生成プラズマEUV源のそれと比較する。比較はまた放射加熱したスズ試料の不透明度についても行う。EUV源の典型的条件下で認められる,計算と実験のEUV放射スペクトルの間の合理的一致が,共鳴線と衛線への波長補正を適用することによって得られる。プラズマのイオン密度とイオン化温度はそれぞれ,およそ10¹⁸cm^-3と20eVである。最後にスズプラズマのスペクトル放射率と不透明度を,電子温度とイオン密度の関数として計算する。結果は,EUV源の最適化のための放射流体力学シミュレーションに有用である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *紫外光源 ,  *極端紫外線 ,  *プラズマ ,  スズ ,  電磁波放射 ,  モデリング ,  リソグラフィー ,  原子データ ,  計算機コード ,  励起状態 ,  衛線 ,  共鳴 ,  エネルギー変換効率 ,  発光スペクトル ,  波長 ,  補正 ,  イオン密度 ,  透明度 ,  電子温度
準シソーラス用語： 不透明度

分類 (2件)： 光源,照明器具  (NB12020F) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 極端紫外 ,  スズ ,  プラズマ ,  放射特性 ,  モデリング