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J-GLOBAL ID:201002270223372422   整理番号:10A0883301

最近の偏光計測の動向 ラジアル偏光ビームを用いたSHG顕微計測

SHG Microscopy Excitation with Radially Polarized Beam
著者 (5件):
資料名:
巻: 39  号:ページ: 401-403  発行年: 2010年08月10日 
JST資料番号: G0125B  ISSN: 0389-6625  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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金属上の有機薄膜の計測手法である高感度反射分光法において,入射ビームを直線偏光でなく,光軸に対して放射状に広がった偏光分布をもつラジアル偏光ビームとすることで,高感度・高空間分解能計測およびイメージングを可能とする手法を紹介した。本手法の原理とラジアル偏光ビームの生成方法を説明したのち,Pt基板上に作製したDACITC単分子膜にラジアル偏光ビームを入射した場合の測定例をあげ,DACITCからの第二高調波発生(SHG)強度が直線偏光ビーム入射の場合よりも4倍程度増強されることを示した。また,UV露光によってグリッド状にパターニングされたDACITC単分子膜のイメージを明瞭に観察できることも示した。さらに,ラジアル偏光ビームおよび直線偏光ビームを金属基板上に集光した際の,集光スポットにおけるSHG発生効率の数値計算を行い比較した結果,金属基板上有機分子の高感度,高分解能計測におけるラジアル偏光ビームの優位性が期待できるとした。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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