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J-GLOBAL ID：201002271739345460   整理番号：10A1542922

中赤外における三次元メタマテリアルの製作技術

Fabrication techniques for three-dimensional metamaterials in the midinfrared

著者 (6件)： WENDT J. R. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082) ,  BURCKEL D. B. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082) ,  TEN EYCK G. A. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082) ,  ELLIS A. R. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082) ,  BRENER I. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082) ,  SINCLAIR M. B. (Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185-1082)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： C6O30  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ”212 D”と完全三次元(3D)構造におけるほぼ任意パターンを生成できる膜投影リソグラフィーとして知られている柔軟な二つの製造技術バージョンを開発した。この新技術を中赤外におけるスプリットリング共振器ベースメタマテリアルの製作に適用した。技術は分解能,パターン設計柔軟性,およびアラインメントに電子ビームリソグラフィーを利用する。結果の構造は,負指数材料を実証するために最初に用いた同等のマイクロ波構造より約3桁小さい。完全3D構造は高等方性で,入射横電磁波について電気的,磁気的励起共鳴の両方を表す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 赤外線 ,  *三次元 ,  *人工材料 ,  パターン形成 ,  膜 ,  投影機 ,  生産技術 ,  リング共振器 ,  分解能 ,  設計 ,  柔軟性 ,  アラインメント ,  *電子ビームリソグラフィー ,  マイクロ波 ,  等方性 ,  電磁波 ,  磁気共鳴
準シソーラス用語： スプリットリング共振器 ,  *メタマテリアル ,  三次元構造 ,  製造技術 ,  中赤外線 ,  電気共鳴

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： メタマテリアル ,  製作